כללי
מספר פטנט:
249047
שם האמצאה:
מכשיר ליטוגרפי, שיטה להעברת מצע ושיטה להכנת התקן
שם באנגלית:
LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD OF TRANSFERRING A SUBSTRATE AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2015/193036 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 14172626.5 משרד הפטנטים האירופי (EP)
דין קדימה 14178554.3 משרד הפטנטים האירופי (EP)
דין קדימה 14198779.2 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2015/060427 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 249047 ישראל (IL)
פרסום לאומי 249047 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה