כללי
מספר פטנט:
232760
שם האמצאה:
התקן ומכשיר לליתוגרפיה ושיטה לייצורם
שם באנגלית:
LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2013/098053 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 61/580417 ארה"ב (US)
דין קדימה 61/605022 ארה"ב (US)
דין קדימה 61/642939 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2012/074507 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 232760 ישראל (IL)
פרסום לאומי 232760 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה