כללי
מספר פטנט:
210832
שם האמצאה:
מתקן ליטוגרפי ושיטה לייצור מתקן
שם באנגלית:
LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
דין קדימה 61/306020 ארה"ב (US)
בקשה לאומית 210832 ישראל (IL)
פרסום לאומי 210832 ישראל (IL)
  מגיש
שם:
ASML NETHERLANDS B.V.