מערכת ליטוגרפית ושיטה לייצור התקן - פטנט 232806 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 232806
שם האמצאה:: מערכת ליטוגרפית ושיטה לייצור התקן
שם באנגלית:: LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2013/107595	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
17/01/2012	דין קדימה	61/587357	ארה"ב (US)
20/12/2012	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2012/076319	משרד הפטנטים האירופי (EP)
26/05/2014	בקשת PCT	232806	ישראל (IL)
31/07/2014	פרסום לאומי	232806	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים