שיטת לעיבוד לפני–מדידה מערכת חשיפה ומתקן לעיבוד תשתית - פטנט 177844 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 177844
שם האמצאה:: שיטת לעיבוד לפני–מדידה מערכת חשיפה ומתקן לעיבוד תשתית
שם באנגלית:: PRE-MEASUREMENT PROCESSING METHOD, EXPOSURE SYSTEM AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2005/083756	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
01/03/2004	דין קדימה	2004-056167	יפן (JP)
25/02/2005	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2005/003156	יפן (JP)
31/08/2006	בקשת PCT	177844	ישראל (IL)
31/12/2006	פרסום לאומי	177844	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

מגיש/ממציא

שם:: YUUKI ISHII

מגיש/ממציא

שם:: HIROYUKI SUZUKI

מגיש/ממציא

שם:: SHINICHI OKITA

פטנטים דומים