שיטת מיקום, מערכת עיבוד, שיטה למדידת חזרתיות מילוי מצע, שיטת מדידת מיקום, שיטה, שיטת חשיפה, מתקן עיבוד מצע, שיטת מדידה, ומתקן מדידה - פטנט 181123 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 181123
שם האמצאה:: שיטת מיקום, מערכת עיבוד, שיטה למדידת חזרתיות מילוי מצע, שיטת מדידת מיקום, שיטה, שיטת חשיפה, מתקן עיבוד מצע, שיטת מדידה, ומתקן מדידה
שם באנגלית:: POSITIONING METHOD, PROCESSING SYSTEM, MEASUREMENT METHOD OF SUBSTRATE LOADING REPEATABILITY, POSITION MEASUREMENT METHOD, EXPOSURE METHOD, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, MEASUREMENT METHOD, AND MEASUREMENT APPARATUS

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2006/025386	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
31/08/2004	דין קדימה	2004-251244	יפן (JP)
22/02/2005	דין קדימה	2005-045660	יפן (JP)
30/08/2005	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2005/015764	יפן (JP)
01/02/2007	בקשת PCT	181123	ישראל (IL)
04/07/2007	פרסום לאומי	181123	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

מגיש/ממציא

שם:: YUUKI ISHII

מגיש/ממציא

שם:: SHINICHI OKITA

פטנטים דומים