קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
שיטה לטיפול תהליכי במצע והתקן לטיפול במצע
פטנט 172852
כללי
מספר פטנט:
172852
שם האמצאה:
שיטה לטיפול תהליכי במצע והתקן לטיפול במצע
שם באנגלית:
SUBSTRATE PROCESSING METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2005/004217
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
02/07/2003
דין קדימה
2003-190654
יפן (JP)
02/12/2003
בקשה בינלאומית
PCT/JP/2003/015430
יפן (JP)
27/12/2005
בקשת PCT
172852
ישראל (IL)
11/06/2006
פרסום לאומי
172852
ישראל (IL)
מגיש
שם:
S.E.S. CO., LTD.
פטנטים דומים
שיטה לעיבוד מצע ומתקן לעיבוד מצע
שיטת לעיבוד לפני–מדידה מערכת חשיפה ומתקן לעיבוד תשתית
עיבוד ביומסה
שיטת מיקום, מערכת עיבוד, שיטה למדידת חזרתיות מילוי מצע, שיטת מדידת מיקום, שיטה, שיטת חשיפה, מתקן עיבוד מצע, שיטת מדידה, ומתקן מדידה
שיטה לעיבוד תמונה, תכנית לעיבוד תמונה, ומכשיר לעיבוד תמונה