שיטה אינטרפרומטרית לקביעת סיום תהליך חריטה פלזמית - פטנט 148873 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 148873
שם האמצאה:: שיטה אינטרפרומטרית לקביעת סיום תהליך חריטה פלזמית
שם באנגלית:: INTERFEROMETRIC METHOD FOR ENDPOINTING PLASMA ETCH PROCESSES

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2001/024255	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
30/09/1999	דין קדימה	409840	ארה"ב (US)
27/09/2000	בקשה בינלאומית	PCT/US/2000/026600	ארה"ב (US)
25/03/2002	בקשת PCT	148873	ישראל (IL)
31/08/2005	פרסום לאומי	148873	ישראל (IL)

מגיש

שם:: LAM RESEARCH CORPORATION
כתובת:: 4650 CUSHING PARKWAY FREMONT, CA 94538-6470 , US
מדינה:: ארה"ב

מגיש/ממציא

שם:: ARTHUR M. HOWALD

מסירת הודעות

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

סוכן

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

מסמכים

פטנטים דומים