חריטה בפלסמה עם חומצה טריפלואורואצטית או תולדותיה - פטנט 119598 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 119598
שם האמצאה:: חריטה בפלסמה עם חומצה טריפלואורואצטית או תולדותיה
שם באנגלית:: PLASMA ETCH WITH TRIFLUOROACETIC ACID OR ITS DERIVATIVES

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
17/11/1995	דין קדימה	60/006890	ארה"ב (US)
13/05/1996	דין קדימה	645439	ארה"ב (US)
11/11/1996	בקשה לאומית	119598	ישראל (IL)
18/02/1997	פרסום לאומי	119598	ישראל (IL)

מגיש

שם:: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.

פטנטים דומים