קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
תערובת דלילה לצחצוח כימי-מכאני של קרומי סיליקה
פטנט 147165
כללי
מספר פטנט:
147165
שם האמצאה:
תערובת דלילה לצחצוח כימי-מכאני של קרומי סיליקה
שם באנגלית:
POLISHING SLURRY FOR THE CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF SILICA FILMS
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
20/12/2000
דין קדימה
10063488.5
גרמניה (DE)
18/12/2001
בקשה לאומית
147165
ישראל (IL)
14/08/2002
פרסום לאומי
147165
ישראל (IL)
מגיש
שם:
BAYER AKTIENGESELLSCHAFT
פטנטים דומים
שיטת ליטוש כימית–מכנית
תרחיף לליטוש כימי מכני ושיטת ליטוש כימי מכני
משחה לליטוש כימי מכני של שכבות וקרומים מתכתיים ושיטה לליטושם
בוץ מלטש לליטוש כימי-מכאני של מבניםמתכתיים ודיאלקטריים
שיטה משולבת לליטוש כימו–מכני