קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
שיטת ליטוש כימית–מכנית
פטנט 149987
כללי
מספר פטנט:
149987
שם האמצאה:
שיטת ליטוש כימית–מכנית
שם באנגלית:
CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING METHOD
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2001/041973
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
07/12/1999
דין קדימה
60/169382
ארה"ב (US)
01/12/2000
בקשה בינלאומית
PCT/US/2000/042522
ארה"ב (US)
03/06/2002
בקשת PCT
149987
ישראל (IL)
01/12/2002
פרסום לאומי
149987
ישראל (IL)
מגיש
שם:
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
פטנטים דומים
שיטה משולבת לליטוש כימו–מכני
תהליך ותרכיב לטיפול בליטוש כימי-מכני
הרכב ללטש כימי –מכני ושיטה לשימוש בו
הרכב ללטש כימי–מכני ושיטה לשימוש בו
תכשיר לניקוי והברקה כימיים–מכאניים