קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
שיטה משולבת לליטוש כימו–מכני
פטנט 151862
כללי
מספר פטנט:
151862
שם האמצאה:
שיטה משולבת לליטוש כימו–מכני
שם באנגלית:
INTEGRATED CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2001/076819
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
07/04/2000
דין קדימה
60/195744
ארה"ב (US)
05/04/2001
בקשה בינלאומית
PCT/US/2001/011026
ארה"ב (US)
22/09/2002
בקשת PCT
151862
ישראל (IL)
10/04/2003
פרסום לאומי
151862
ישראל (IL)
מגיש
שם:
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
פטנטים דומים
שיטת ליטוש כימית–מכנית
תהליך ותרכיב לטיפול בליטוש כימי-מכני
הרכב ללטש כימי –מכני ושיטה לשימוש בו
הרכב ללטש כימי–מכני ושיטה לשימוש בו
תכשיר לניקוי והברקה כימיים–מכאניים