כור לתהליך יצור פרוסות של חצאי מוליך בעל יחידת בקרה לזרימת גז והשיטה לייצורו - פטנט 144696 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 144696
שם האמצאה:: כור לתהליך יצור פרוסות של חצאי מוליך בעל יחידת בקרה לזרימת גז והשיטה לייצורו
שם באנגלית:: WAFER PROCESSING REACTOR HAVING A GAS FLOW CONTROL SYSTEM AND METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2000/049197	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
02/02/1999	דין קדימה	60/118286	ארה"ב (US)
28/01/2000	דין קדימה	493492	ארה"ב (US)
01/02/2000	בקשה בינלאומית	PCT/US/2000/002606	ארה"ב (US)
01/08/2001	בקשת PCT	144696	ישראל (IL)
30/06/2002	פרסום לאומי	144696	ישראל (IL)

מגיש

שם:: SILICON VALLEY GROUP THERMAL SYSTEMS, LLC

פטנטים דומים