כללי
מספר פטנט:
152500
שם האמצאה:
משפר תפוקה עבור תנור של פיסת סיליקון יחידה
שם באנגלית:
THROUGHPUT ENHANCEMENT FOR SINGLE WAFER REACTOR
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2001/083333 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 563784 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/US/2001/012593 ארה"ב (US)
בקשת PCT 152500 ישראל (IL)
פרסום לאומי 152500 ישראל (IL)
  מגיש
שם:
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.