קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
משפר תפוקה עבור תנור של פיסת סיליקון יחידה
פטנט 152500
כללי
מספר פטנט:
152500
שם האמצאה:
משפר תפוקה עבור תנור של פיסת סיליקון יחידה
שם באנגלית:
THROUGHPUT ENHANCEMENT FOR SINGLE WAFER REACTOR
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2001/083333
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
29/04/2000
דין קדימה
563784
ארה"ב (US)
18/04/2001
בקשה בינלאומית
PCT/US/2001/012593
ארה"ב (US)
27/10/2002
בקשת PCT
152500
ישראל (IL)
29/05/2003
פרסום לאומי
152500
ישראל (IL)
מגיש
שם:
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
פטנטים דומים
שיטה והתקן לניקוי פרוסת חצי מוליך יחידי
כור לתהליך יצור פרוסות של חצאי מוליך בעל יחידת בקרה לזרימת גז והשיטה לייצורו
מערכת להנעת פרוסות סיליקין
מערכת קונוסקופית לבדיקת וופר
התקן לניקוי רקיקים