קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
התקן ושיטה לניקוי וייפרים של מוליכים למחצה
פטנט 137996
כללי
מספר פטנט:
137996
שם האמצאה:
התקן ושיטה לניקוי וייפרים של מוליכים למחצה
שם באנגלית:
APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING SEMICONDUCTOR WAFERS
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
1999/043447
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
25/02/1998
דין קדימה
030644
ארה"ב (US)
23/02/1999
בקשה בינלאומית
PCT/US/1999/003931
ארה"ב (US)
22/08/2000
בקשת PCT
137996
ישראל (IL)
31/10/2001
פרסום לאומי
137996
ישראל (IL)
מגיש
שם:
GAMMA PRECISION TECHNOLOGY, INC.
פטנטים דומים
מכשיר להעברת מרקועי מוליכים למחצה
שיטה לשיוור מדוייק להשגת חפיפה של פרוסות חצי מוליכות
שיטה ומכשיר למדידת מתח ברכיבים מוליכים למחצה
מכשיר ושיטה לבדיקת פרוסות מוליכות למחצה
תנור לעיבוד פרוסות של חצאי מוליכים