קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
התקן ושיטה למדידת עובי של שכבות ובמיוחד של ציפוי פוטרזיסט על פרוסות חצאי מוליכים
פטנט 125964
כללי
מספר פטנט:
125964
שם האמצאה:
התקן ושיטה למדידת עובי של שכבות ובמיוחד של ציפוי פוטרזיסט על פרוסות חצאי מוליכים
שם באנגלית:
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THE THICKNESS OF A TRANSPARENT FILM, PARTICULARLY OF A PHOTORESIST FILM ON A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
27/08/1998
בקשה לאומית
125964
ישראל (IL)
31/10/2003
פרסום לאומי
125964
ישראל (IL)
מגיש
שם:
TEVET PROCESS CONTROL TECHNOLOGIES LTD.
כתובת:
P.O.BOX 690 BUILDING 2, ZONE 7 INDUSTRY PARK 20692 YOKNEAM , IL
מדינה:
ישראל
מסירת הודעות
שם:
ג'י.אי.ארליך (1995) בע" מ
כתובת:
מגדל איילון, קומה 15 ,רחוב מנחם בגין 11, רמת גן 52521
מדינה:
ישראל
טלפון:
09-9570590
פקס:
09-9570595
דוא"ל:
israel@ipatent.co.il
סוכן
שם:
ג'י.אי.ארליך (1995) בע" מ
כתובת:
מגדל איילון, קומה 15 ,רחוב מנחם בגין 11, רמת גן 52521
מדינה:
ישראל
טלפון:
09-9570590
פקס:
09-9570595
דוא"ל:
israel@ipatent.co.il
מסמכים
פרטי הבקשה
שרטוטים
תביעות
פטנטים דומים
שיטה והתקן למדידת עובי שכבה בערימה רבת שכבות דקות
התקן ושיטה לביצוע מטרולוגיה עם שכבהדקה ע" י עיוות שכבה דקה למאדה מחזיר
שיטה והתקן לציפוי תשתית בפילם דק ע" י ריסוס של אדי פלסמה
לביד של וויניל ומרקע
התקן ושיטה לביצוע מטרולוגיה עם עוביקרום שכבתי דק על שכבת קרום דקה עם עיוותי צורה ושינוי מדרון מקומיים