קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
התקן ושיטה לביצוע מטרולוגיה עם שכבהדקה ע" י עיוות שכבה דקה למאדה מחזיר
פטנט 105612
כללי
מספר פטנט:
105612
שם האמצאה:
התקן ושיטה לביצוע מטרולוגיה עם שכבהדקה ע" י עיוות שכבה דקה למאדה מחזיר
שם באנגלית:
APPARATUS AND METHOD FOR PERFORNINGTHIN FILM LAYER THICKNESS METROLOGYBY DEFORMING A THIN FILM INTO A REFLECTIVE CONDENSER
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
29/05/1992
דין קדימה
891344
ארה"ב (US)
05/05/1993
בקשה לאומית
105612
ישראל (IL)
31/07/1995
פרסום לאומי
105612
ישראל (IL)
מגיש
שם:
IPEC PRECISION, INC.
כתובת:
3 BERKSHIRE BLVD. BETHEL CONNECTICUT , US
מדינה:
ארה"ב
מסירת הודעות
שם:
סנפורד ט. קולב ושות'
כתובת:
שער הגיא 4, מרמורק, רחובות 76122
מדינה:
ישראל
טלפון:
08-9455122
פקס:
08-9454556
דוא"ל:
colbpat@stc.co.il
סוכן
שם:
סנפורד ט. קולב ושות'
כתובת:
שער הגיא 4, מרמורק, רחובות 76122
מדינה:
ישראל
טלפון:
08-9455122
פקס:
08-9454556
דוא"ל:
colbpat@stc.co.il
מסמכים
פרטי הבקשה
שרטוטים
תביעות
פטנטים דומים
התקן ושיטה לביצוע מטרולוגיה עם עוביקרום שכבתי דק על שכבת קרום דקה עם עיוותי צורה ושינוי מדרון מקומיים
שיקוע של קרום דק מבודד
שיטה והתקן למדידת עובי שכבה בערימה רבת שכבות דקות
התקן ושיטה למדידת עובי של שכבות ובמיוחד של ציפוי פוטרזיסט על פרוסות חצאי מוליכים
תרכובת נחושת, חומר מוצא ליצירת שכבה דקה ושיטה לייצור שכבה דקה