קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
שיטה והתקן למדידת עובי שכבה בערימה רבת שכבות דקות
פטנט 111808
כללי
מספר פטנט:
111808
שם האמצאה:
שיטה והתקן למדידת עובי שכבה בערימה רבת שכבות דקות
שם באנגלית:
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING FILM THICKNESS IN MULTILAYER THIN FILM STACK
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
22/12/1993
דין קדימה
179594
ארה"ב (US)
29/11/1994
בקשה לאומית
111808
ישראל (IL)
24/01/1995
פרסום לאומי
111808
ישראל (IL)
מגיש
שם:
HUGHES AIRCRAFT COMPANY
פטנטים דומים
שיקוע של קרום דק מבודד
תשתית עם ציפוי דק רב-רבדים
התקן ושיטה למדידת עובי של שכבות ובמיוחד של ציפוי פוטרזיסט על פרוסות חצאי מוליכים
התקן ושיטה לביצוע מטרולוגיה עם שכבהדקה ע" י עיוות שכבה דקה למאדה מחזיר
התקן ושיטה לביצוע מטרולוגיה עם עוביקרום שכבתי דק על שכבת קרום דקה עם עיוותי צורה ושינוי מדרון מקומיים