קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
תהליך שיקוע דו תחמוצת סיליקון בטמפרטורה נמוכה
פטנט 116620
כללי
מספר פטנט:
116620
שם האמצאה:
תהליך שיקוע דו תחמוצת סיליקון בטמפרטורה נמוכה
שם באנגלית:
PROCESS FOR LOW TEMPERATURE DEPOSITION SILICON DIOXIDE
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
04/01/1995
דין קדימה
368571
ארה"ב (US)
29/12/1995
בקשה לאומית
116620
ישראל (IL)
31/03/1996
פרסום לאומי
116620
ישראל (IL)
מגיש
שם:
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
פטנטים דומים
יצור שכבה של דו-תחמוצת הסיליקון וסיליקון אוקסיניטריד ע" י שימוש ב-ביס (בוטילאמינושלישוני) סילן
השקעה של שכבות אפיטקסיות בטמפרטורה נמוכה
תהליך להשקעת שכבות של תחמוצות ע" י השקעה פוטוכימית של אדים בטמפרטורה נמוכה
תהליך להשקעת אדים כימית
ייצור של חיפויי צורן פולי-גבישיים ע" י השקעה אלקטרוליטית של צורן