מכשיר ליטוגרפי ושיטת חשיפה - פטנט 249046 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 249046
שם האמצאה:: מכשיר ליטוגרפי ושיטת חשיפה
שם באנגלית:: LITHOGRAPHIC APPARATUS AND EXPOSURE METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2015/189001	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
12/06/2014	דין קדימה	14172053.2	משרד הפטנטים האירופי (EP)
13/05/2015	בקשה בינלאומית	PCT/EP/2015/060537	משרד הפטנטים האירופי (EP)
17/11/2016	בקשת PCT	249046	ישראל (IL)
31/01/2017	פרסום לאומי	249046	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.

פטנטים דומים