כללי
מספר פטנט:
210774
שם האמצאה:
שיטה ומכשיר לשליטה בהתקן ליטוגרפי
שם באנגלית:
METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING A LITHOGRAPHIC APPARATUS
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
דין קדימה 61/306111 ארה"ב (US)
בקשה לאומית 210774 ישראל (IL)
פרסום לאומי 210774 ישראל (IL)
  מגיש
שם:
ASML NETHERLANDS B.V.