קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
שיטה ומכשיר לשליטה בהתקן ליטוגרפי
פטנט 210774
כללי
מספר פטנט:
210774
שם האמצאה:
שיטה ומכשיר לשליטה בהתקן ליטוגרפי
שם באנגלית:
METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING A LITHOGRAPHIC APPARATUS
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
19/02/2010
דין קדימה
61/306111
ארה"ב (US)
20/01/2011
בקשה לאומית
210774
ישראל (IL)
30/06/2011
פרסום לאומי
210774
ישראל (IL)
מגיש
שם:
ASML NETHERLANDS B.V.
פטנטים דומים
שיטה ומערכת ליתוגרפית
מכשיר ליטוגרפי ושיטת חשיפה
מתקן ליטוגרפי ושיטה לייצור מתקן
מתקן ליטוגרפי ושיטה לייצור מתקן
מערכת ליטוגרפית ושיטה לייצור התקן