כללי
מספר פטנט:
248864
שם האמצאה:
שיטה לפיצוי על טעות חשיפה בתהליך חשיפה
שם באנגלית:
METHOD FOR COMPENSATING AN EXPOSURE ERROR IN AN EXPOSURE PROCESS
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2015/185269 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 14170954.3 משרד הפטנטים האירופי (EP)
דין קדימה 15161238.9 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2015/058870 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 248864 ישראל (IL)
פרסום לאומי 248864 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה