קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
הרכב ושיטה לליטוש סיליקון ניטריד
פטנט 192527
כללי
מספר פטנט:
192527
שם האמצאה:
הרכב ושיטה לליטוש סיליקון ניטריד
שם באנגלית:
COMPOSITION AND METHOD TO POLISH SILICON NITRIDE
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2007/108926
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
13/03/2006
דין קדימה
11/374238
ארה"ב (US)
06/03/2007
בקשה בינלאומית
PCT/US/2007/005594
ארה"ב (US)
30/06/2008
בקשת PCT
192527
ישראל (IL)
29/08/2013
פרסום לאומי
192527
ישראל (IL)
סיווגים (IPC)
B24B : תחבורה > טחינה; ליטוש
C09G : כימיה, מטלורגיה > צבעים; מבריקים; שרף טבעי; דבקים; תרכובות שלא הוגדרו אחרת; יישומים של חומרים שלא הוגדרו אחרת
מגיש
שם:
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
כתובת:
870 NORTH COMMONS DRIVE AURORA, ILLINOIS 60504 , US
מדינה:
ארה"ב
מסירת הודעות
שם:
זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:
רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-5661446
פקס:
03-5608458
דוא"ל:
mail@sgl.co.il
סוכן
שם:
זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:
רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:
ישראל
טלפון:
03-5661446
פקס:
03-5608458
דוא"ל:
mail@sgl.co.il
מסמכים
פרטי הבקשה
תביעות
פטנטים דומים
סיליקון ניטריד מאמינוסילאן באמצעות PECVD
תכשירים המכילים צורן ניטריד
הרכב ליטוש ושיטה ליחסי קצב הסרה גבוהים של צורן ניטריד לעומת חומצת צורן
ייצור של ניטריד הצורך לחוץ בחום
תותבת חותכת מסיליקון ניטריד