סיליקון ניטריד מאמינוסילאן באמצעות PECVD - פטנט 170744 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 170744
שם האמצאה:: סיליקון ניטריד מאמינוסילאן באמצעות PECVD
שם באנגלית:: SILICON NITRIDE FROM AMINOSILANE USING PECVD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
30/08/2004	דין קדימה	10/929755	ארה"ב (US)
08/09/2005	בקשה לאומית	170744	ישראל (IL)
11/02/2009	פרסום לאומי	170744	ישראל (IL)

מגיש

שם:: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.

פטנטים דומים