הרכב ליטוש ושיטה ליחסי קצב הסרה גבוהים של צורן ניטריד לעומת חומצת צורן - פטנט 182797 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 182797
שם האמצאה:: הרכב ליטוש ושיטה ליחסי קצב הסרה גבוהים של צורן ניטריד לעומת חומצת צורן
שם באנגלית:: POLISHING COMPOSITION AND METHOD FOR HIGH SILICON NITRIDE TO SILICON OXIDE REMOVAL RATE RATIOS

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2006/052433	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
05/11/2004	דין קדימה	10/982486	ארה"ב (US)
21/10/2005	בקשה בינלאומית	PCT/US/2005/038279	ארה"ב (US)
26/04/2007	בקשת PCT	182797	ישראל (IL)
31/08/2011	פרסום לאומי	182797	ישראל (IL)

מגיש

שם:: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
כתובת:: 870 NORTH COMMONS DRIVE AURORA, ILLINOIS 60504 , US
מדינה:: ארה"ב

מסירת הודעות

שם:: זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:: רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:: ישראל
טלפון:: 03-5661446
פקס:: 03-5608458
דוא"ל:: mail@sgl.co.il

סוכן

שם:: זליגסון גבריאלי ושות'
כתובת:: רח' יבנה 31, תל אביב 61013
מדינה:: ישראל
טלפון:: 03-5661446
פקס:: 03-5608458
דוא"ל:: mail@sgl.co.il

מסמכים

פטנטים דומים