שיטות לחישוב נקודת הסוף בתהליך ניקוי או הכשרה במערכת לעיבוד פלאזמה - פטנט 186108 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 186108
שם האמצאה:: שיטות לחישוב נקודת הסוף בתהליך ניקוי או הכשרה במערכת לעיבוד פלאזמה
שם באנגלית:: METHODS FOR DETERMINING THE ENDPOINT OF A CLEANING OR CONDITIONING PROCESS IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2006/104841	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
28/03/2005	דין קדימה	11/092737	ארה"ב (US)
24/03/2006	בקשה בינלאומית	PCT/US/2006/010576	ארה"ב (US)
20/09/2007	בקשת PCT	186108	ישראל (IL)
30/11/2011	פרסום לאומי	186108	ישראל (IL)

מגיש

שם:: LAM RESEARCH CORPORATION
כתובת:: 4650 CUSHING PARKWAY FREMONT, CA 94538-6470 , US
מדינה:: ארה"ב

מגיש/ממציא

שם:: ERIC HUDSON

מגיש/ממציא

שם:: DOUGLAS KEIL

מגיש/ממציא

שם:: ALEXEI MARAKHTANOV

מסירת הודעות

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

סוכן

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

מסמכים

פטנטים דומים