קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
התקן ושיטה לעיבוד פלאסמה
פטנט 138264
כללי
מספר פטנט:
138264
שם האמצאה:
התקן ושיטה לעיבוד פלאסמה
שם באנגלית:
PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING METHOD
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
1999/045585
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
05/03/1998
דין קדימה
73337/98
יפן (JP)
11/03/1998
דין קדימה
78396/98
יפן (JP)
05/03/1999
בקשה בינלאומית
PCT/JP/1999/001079
יפן (JP)
05/09/2000
בקשת PCT
138264
ישראל (IL)
31/10/2001
פרסום לאומי
138264
ישראל (IL)
מגיש
שם:
TOKYO ELECTRON LTD
פטנטים דומים
עיבוד ביומסה
שיטה והתקן לייצור פלסטמה
שיטה להצתת פלסמה בתוך מגוב עיבודפלסמה
מעגל של זרם מקוצב,התקן רבת שדות ותהליך עיבוד עם פלסמה
שיטה ומכשיר לריסוס פלזמה