שיטה והתקן לקביעה של נקודת הסיום בניקוי תא עיבוד או בחריטת פרוסות - פטנט 140055 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 140055
שם האמצאה:: שיטה והתקן לקביעה של נקודת הסיום בניקוי תא עיבוד או בחריטת פרוסות
שם באנגלית:: METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING PROCESSING CHAMBER CLEANING OR WAFER ETCHING ENDPOINT

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	1999/064814	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
12/06/1998	דין קדימה	60/089089	ארה"ב (US)
10/06/1999	דין קדימה	329520	ארה"ב (US)
11/06/1999	בקשה בינלאומית	PCT/US/1999/013339	ארה"ב (US)
03/12/2000	בקשת PCT	140055	ישראל (IL)
10/02/2002	פרסום לאומי	140055	ישראל (IL)

מגיש

שם:: ON-LINE TECHNOLOGIES, INC.

פטנטים דומים