מתקן חשיפה, שיטת חשיפה ושיטה לייצור מתקן - פטנט 179936 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 179936
שם האמצאה:: מתקן חשיפה, שיטת חשיפה ושיטה לייצור מתקן
שם באנגלית:: EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE PRODUCING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2005/122220	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
10/06/2004	דין קדימה	2004-172568	יפן (JP)
08/06/2005	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2005/010484	יפן (JP)
10/12/2006	בקשת PCT	179936	ישראל (IL)
15/05/2007	פרסום לאומי	179936	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

מגיש/ממציא

שם:: HIROYUKI NAGASAKA

מגיש/ממציא

שם:: MINORU ONDA

פטנטים דומים