שיטות ומכשיר להתאמת יסוד במערכה לתהליך בפלאזמה - פטנט 175411 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 175411
שם האמצאה:: שיטות ומכשיר להתאמת יסוד במערכה לתהליך בפלאזמה
שם באנגלית:: METHODS AND APPARATUS FOR OPTIMIZING A SUBSTRATE IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2005/048301	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
07/11/2003	דין קדימה	10/703843	ארה"ב (US)
28/10/2004	בקשה בינלאומית	PCT/US/2004/035980	ארה"ב (US)
04/05/2006	בקשת PCT	175411	ישראל (IL)
31/10/2010	פרסום לאומי	175411	ישראל (IL)

מגיש

שם:: LAM RESEARCH CORPORATION
כתובת:: 4650 CUSHING PARKWAY FREMONT, CA 94538-6470 , US
מדינה:: ארה"ב

מגיש/ממציא

שם:: ROGER PATRICK

מגיש/ממציא

שם:: BRETT RICHARDSON

מגיש/ממציא

שם:: NORMAN WILLIAMS

מסירת הודעות

שם:: ריינהולד כהן ושותפיו
כתובת:: רחוב הברזל 26א', רמת החייל 69710
מדינה:: ישראל
טלפון:: 03-7109333
פקס:: 03-5606405
דוא"ל:: rasham@rcip.co.il

סוכן

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

סוכן

שם:: ריינהולד כהן ושותפיו
כתובת:: רחוב הברזל 26א', רמת החייל 69710
מדינה:: ישראל
טלפון:: 03-7109333
פקס:: 03-5606405
דוא"ל:: rasham@rcip.co.il

מסמכים

פטנטים דומים