שיטה ומתקן לניקוי מצע מסוג פרוסת חצי מוליך יחידי - פטנט 145118 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 145118
שם האמצאה:: שיטה ומתקן לניקוי מצע מסוג פרוסת חצי מוליך יחידי
שם באנגלית:: SINGLE WAFER TYPE SUBSTRATE CLEANING METHOD AND APPARATUS

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
05/12/2000	דין קדימה	2000-370718	יפן (JP)
26/08/2001	בקשה לאומית	145118	ישראל (IL)
30/06/2002	פרסום לאומי	145118	ישראל (IL)

מגיש

שם:: S.E.S. COMPANY LIMITED

פטנטים דומים