משחה להברקת כימית מכנית שימושית למצע נחושת\טנטלום - פטנט 140303 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 140303
שם האמצאה:: משחה להברקת כימית מכנית שימושית למצע נחושת\טנטלום
שם באנגלית:: CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SLURRY USEFUL FOR COPPER/TANTALUM SUBSTRATE

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2000/000567	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
26/06/1998	דין קדימה	105555	ארה"ב (US)
25/06/1999	בקשה בינלאומית	PCT/US/1999/014557	ארה"ב (US)
14/12/2000	בקשת PCT	140303	ישראל (IL)
10/02/2002	פרסום לאומי	140303	ישראל (IL)

מגיש

שם:: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION

פטנטים דומים