קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
משחה לליטוש כימי מכני שימושית עבור שכבות נחושת
פטנט 138483
כללי
מספר פטנט:
138483
שם האמצאה:
משחה לליטוש כימי מכני שימושית עבור שכבות נחושת
שם באנגלית:
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SLURRY USEFUL FOR COPPER SUBSTRATES
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
1999/047618
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
18/03/1998
דין קדימה
040630
ארה"ב (US)
18/03/1999
בקשה בינלאומית
PCT/US/1999/005968
ארה"ב (US)
14/09/2000
בקשת PCT
138483
ישראל (IL)
31/10/2001
פרסום לאומי
138483
ישראל (IL)
מגיש
שם:
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
פטנטים דומים
התקן ושיטה לטיפול פלסמה של מרקעים
מערכת לציפוי סובסטרטים
חפצים ושיטה להגנת סובסטרטים
שינוי שטח הפנים של מוצרים פוליסילוקסן ומצעים מצופים ע" י שיטה כימית רטובה
משטחים למעגלים מדפסים