כללי
מספר פטנט:
248778
שם האמצאה:
מכשיר ושיטה לבדיקת דוגמה באמצעות ריבוי של אלומות חלקיקים טעונים
שם באנגלית:
APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING A SAMPLE USING A PLURALITY OF CHARGED PARTICLE BEAMS
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2015/170969 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 2012780 הולנד (NL)
בקשה בינלאומית PCT/NL/2015/050271 הולנד (NL)
בקשת PCT 248778 ישראל (IL)
פרסום לאומי 248778 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • H01J: חשמל > אלמנטים חשמליים בסיסיים