כללי
מספר פטנט:
235824
שם האמצאה:
הרכבה לשינוי תכונות ריבוי של קרני קרינה, מכשיר ליתוגרפיה, שיטה לשינוי תכונות ריבוי של קרני קרינה ושיטה ליצירת התקן
שם באנגלית:
AN ASSEMBLY FOR MODIFYING PROPERTIES OF A PLURALITY OF RADIATION BEAMS, A LITHOGRAPHY APPARATUS, A METHOD OF MODIFYING PROPERTIES OF A PLURALITY OF RADIATION BEAMS AND A DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2013/178429 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 61/654575 ארה"ב (US)
דין קדימה 61/668924 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2013/059347 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 235824 ישראל (IL)
פרסום לאומי 235824 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה