קונץ פטנט
ראשי
חיפוש פטנטים
אודות
צור קשר
מכשיר, התקן ליתוגרפי, שיטה לניתוב קרינה ושיטה לייצור המכשיר
פטנט 233540
כללי
מספר פטנט:
233540
שם האמצאה:
מכשיר, התקן ליתוגרפי, שיטה לניתוב קרינה ושיטה לייצור המכשיר
שם באנגלית:
DEVICE, LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD FOR GUIDING RADIATION AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2013/124114
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
23/02/2012
דין קדימה
61/602,491
ארה"ב (US)
24/01/2013
בקשה בינלאומית
PCT/EP/2013/051355
משרד הפטנטים האירופי (EP)
07/07/2014
בקשת PCT
233540
ישראל (IL)
31/08/2014
פרסום לאומי
233540
ישראל (IL)
סיווגים (IPC)
G03F : פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה
מגיש
שם:
ASML NETHERLANDS B.V.
פטנטים דומים
מערכת ליטוגרפית ושיטה לייצור התקן
התקן לפיקוח, התקן ליטוגרפי, ושיטה לייצור מכשיר
מכשיר ליטוגרפי, שיטה להעברת מצע ושיטה להכנת התקן
שיטה ומערכת ליתוגרפית
התקן לוויסות מבער גז