כללי
מספר פטנט:
233540
שם האמצאה:
מכשיר, התקן ליתוגרפי, שיטה לניתוב קרינה ושיטה לייצור המכשיר
שם באנגלית:
DEVICE, LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD FOR GUIDING RADIATION AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2013/124114 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 61/602,491 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2013/051355 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 233540 ישראל (IL)
פרסום לאומי 233540 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה