תהליך לייצור התקנים מוליכים למחצה הכולל הברקה מכאנית כימית של יסוד גרמניום ו/או חומר i1–xGex – S בנוכחות תכשיר הברקה מכאני כימי בעל ערך pH של 3 עד 5.5 פטנט 229779
כללי
מספר פטנט:
229779
שם האמצאה:
תהליך לייצור התקנים מוליכים למחצה הכולל הברקה מכאנית כימית של יסוד גרמניום ו/או חומר i1–xGex – S בנוכחות תכשיר הברקה מכאני כימי בעל ערך pH של 3 עד 5.5
שם באנגלית:
A PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES COMPRISING THE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING OF ELEMENTAL GERMANIUM AND/OR Si1-xGex MATERIAL IN THE PRESENCE OF A CMP COMPOSITION HAVING A pH VALUE OF 3.0 TO 5.5