תהליך לייצור התקנים מוליכים למחצה הכוללים הברקה מכנית כימית של יסוד גרמניום ו/או חומר GeX–X–1Si בנוכחות של תכשיר CMP המכיל תרכובת אורגנית מיוחדת פטנט 230378
כללי
מספר פטנט:
230378
שם האמצאה:
תהליך לייצור התקנים מוליכים למחצה הכוללים הברקה מכנית כימית של יסוד גרמניום ו/או חומר GeX–X–1Si בנוכחות של תכשיר CMP המכיל תרכובת אורגנית מיוחדת
שם באנגלית:
A PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES COMPRISING THE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING OF ELEMENTAL GERMANIUM AND/OR Si1-XGeX MATERIAL IN THE PRESENCE OF A CMP COMPOSITION COMPRISING A SPECIFIC ORGANIC COMPOUNDS
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2013/018015
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה
61/513694
ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית
PCT/IB/2012/053877
הלשכה הבינלאומית (IB)
בקשת PCT
230378
ישראל (IL)
פרסום לאומי
230378
ישראל (IL)
סיווגים (IPC)
C09G : כימיה, מטלורגיה > צבעים; מבריקים; שרף טבעי; דבקים; תרכובות שלא הוגדרו אחרת; יישומים של חומרים שלא הוגדרו אחרת