כללי
מספר פטנט:
220021
שם האמצאה:
שיטת הנעה לגוף נייד, מערכת הנעה לגוף נייד, שיטת חשיפה, מתקן חשיפה ושיטת יצירת מתקן
שם באנגלית:
MOVABLE BODY DRIVE METHOD, MOVABLE BODY APPARATUS, EXPOSURE METHOD, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2011/081215 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 2009-297905 יפן (JP)
דין קדימה 61/290359 ארה"ב (US)
דין קדימה 12/976347 ארה"ב (US)
בקשה בינלאומית PCT/JP/2010/073871 יפן (JP)
בקשת PCT 220021 ישראל (IL)
פרסום לאומי 220021 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G05B: פיזיקה > שליטה; ויסות
  מגיש
שם:
NIKON CORPORATION
  מגיש/ממציא
שם:
YUICHI SHIBAZAKI
  מגיש/ממציא
שם:
OKUTOMI, AKIRA