כללי
מספר פטנט:
213153
שם האמצאה:
שיטה ליצירת דוגמה באמצעות מפתח המכיל ממס אורגני ותמיסת שטיפה לשימוש בשיטה ליצירת הדוגמה
שם באנגלית:
PATTERN FORMING METHOD USING DEVELOPER CONTAINING ORGANIC SOLVENT AND RINSING SOLUTION FOR USE IN THE PATTERN FORMING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2010/061977 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 2008-303259 יפן (JP)
בקשה בינלאומית PCT/JP/2009/070372 יפן (JP)
בקשת PCT 213153 ישראל (IL)
פרסום לאומי 213153 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה