כללי
מספר פטנט:
192123
שם האמצאה:
שיטה ליצור דוגמא ושיטה לייצור המתקן
שם באנגלית:
PATTERN FORMING METHOD, PATTERN FORMING APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2007/077925 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 2005-377706 יפן (JP)
בקשה בינלאומית PCT/JP/2006/326248 יפן (JP)
בקשת PCT 192123 ישראל (IL)
פרסום לאומי 192123 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה