כלי מדידה עילי מבוסס דיפרקציה ושיטת מדידה עילי מבוסס דיפרקציה - פטנט 206290 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 206290
שם האמצאה:: כלי מדידה עילי מבוסס דיפרקציה ושיטת מדידה עילי מבוסס דיפרקציה
שם באנגלית:: DIFFRACTION BASED OVERLAY METROLOGY TOOL AND METHOD OF DIFFRACTION BASED OVERLAY METROLOGY

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2009/078708	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
17/12/2007	דין קדימה	61/006073	ארה"ב (US)
09/12/2008	בקשה בינלאומית	PCT/NL/2008/050785	הולנד (NL)
10/06/2010	בקשת PCT	206290	ישראל (IL)
31/01/2016	פרסום לאומי	206290	ישראל (IL)

מגיש

שם:: ASML NETHERLANDS B.V.
כתובת:: DE RUN 6501 NL-5504 DR VELDHOVEN , NL
מדינה:: הולנד

מסירת הודעות

שם:: לוצאטו את לוצאטו
כתובת:: גן תעשייה, עומר, באר שבע 84152
מדינה:: ישראל
טלפון:: 073-2262626
פקס:: 073-2262627
דוא"ל:: ilpto@luzzatto.co.il

סוכן

שם:: לוצאטו את לוצאטו
כתובת:: גן תעשייה, עומר, באר שבע 84152
מדינה:: ישראל
טלפון:: 073-2262626
פקס:: 073-2262627
דוא"ל:: ilpto@luzzatto.co.il

מסמכים

פטנטים דומים