שיטה ומערכת לזיהוי מדויק של קצה אזור טיפול עבור מערך אזור שגובש על שבב ושיטות למיון פגמים שהתגלו במערך אזור שגובש על שבב פטנט 200534
כללי
מספר פטנט:
200534
שם האמצאה:
שיטה ומערכת לזיהוי מדויק של קצה אזור טיפול עבור מערך אזור שגובש על שבב ושיטות למיון פגמים שהתגלו במערך אזור שגובש על שבב
שם באנגלית:
METHOD AND SYSTEM FOR ACCURATE IDENTIFICATION OF AN EDGE OF A CARE AREA FOR AN ARRAY AREA FORMED ON A WAFER AND METHODS FOR BINNING DEFECTS DETECTED IN AN ARRAY AREA FORMED ON A WAFER