שיטה לזיהוי דוגמא ומתקן ליצור דוגמא, שיטה ומתקן חישוף ושיטה ליצור המתקן - פטנט 192122 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 192122
שם האמצאה:: שיטה לזיהוי דוגמא ומתקן ליצור דוגמא, שיטה ומתקן חישוף ושיטה ליצור המתקן
שם באנגלית:: PATTERN FORMATION METHOD AND PATTERN FORMATION APPARATUS, EXPOSURE METHOD AND EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2007/077926	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
28/12/2005	דין קדימה	2005-379948	יפן (JP)
28/12/2006	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2006/326249	יפן (JP)
12/06/2008	בקשת PCT	192122	ישראל (IL)
29/12/2008	פרסום לאומי	192122	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

H01L: חשמל > אלמנטים חשמליים בסיסיים

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

מגיש/ממציא

שם:: YUICHI SHIBAZAKI

פטנטים דומים