כללי
מספר פטנט:
192020
שם האמצאה:
שיטה ומערכת לבדיקה האופטית של מבנה מחזורי
שם באנגלית:
METHOD AND SYSTEM FOR THE OPTICAL INSPECTION OF A PERIODIC STRUCTURE
  בקשות ופרסומים
תאריך סוג מספר מדינה
פרסום בינלאומי 2007/079934 הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה 102006000946.0 גרמניה (DE)
בקשה בינלאומית PCT/EP/2006/012233 משרד הפטנטים האירופי (EP)
בקשת PCT 192020 ישראל (IL)
פרסום לאומי 192020 ישראל (IL)
  סיווגים (IPC)
  • G01N: פיזיקה > מדידה; בדיקה