תכשירים לניקוי לחומר פעיל אור מוחדר יונים בישומי קצה הקדמי של קו(FEOL) - פטנט 186146 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 186146
שם האמצאה:: תכשירים לניקוי לחומר פעיל אור מוחדר יונים בישומי קצה הקדמי של קו(FEOL)
שם באנגלית:: COMPOSITION FOR CLEANING ION IMPLANTED PHOTORESIST IN FRONT END OF LINE APPLICATIONS

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2006/107517	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
04/04/2005	דין קדימה	60/667932	ארה"ב (US)
13/03/2006	בקשה בינלאומית	PCT/US/2006/008829	ארה"ב (US)
20/09/2007	בקשת PCT	186146	ישראל (IL)
20/01/2008	פרסום לאומי	186146	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

G03F: פיזיקה > צילום; סינמטוגרפיה; טכניקות אנלוגיות באמצעות גלים שאינם אופטיים; אלקטרוגרפיה; הולוגרפיה

מגיש

שם:: AVANTOR PERFORMANCE MATERIALS, INC.

פטנטים דומים