שיטה למדידת מיקום, שיטת לבקרת מיקום, שיטת מדידה, שיטת טעינה, שיטת חשיפה ומתקן חשיפה, ושיטה ליצור המתקן פטנט 183280
כללי
מספר פטנט:
183280
שם האמצאה:
שיטה למדידת מיקום, שיטת לבקרת מיקום, שיטת מדידה, שיטת טעינה, שיטת חשיפה ומתקן חשיפה, ושיטה ליצור המתקן
שם באנגלית:
POSITION MEASUREMENT METHOD, POSITION CONTROL METHOD, MEASUREMENT METHOD, LOADING METHOD, EXPOSURE METHOD AND EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
בקשות ופרסומים
תאריך
סוג
מספר
מדינה
פרסום בינלאומי
2006/054682
הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
דין קדימה
2004-335050
יפן (JP)
בקשה בינלאומית
PCT/JP/2005/021214
יפן (JP)
בקשת PCT
183280
ישראל (IL)
פרסום לאומי
183280
ישראל (IL)
מגיש
שם:
NIKON CORPORATION
כתובת:
12-1, YURAKUCHO 1-CHOME, CHIYODA-KU, TOKYO 100-8331 , JP
מדינה:
יפן
מסירת הודעות
שם:
ד" ר מרק פרידמן בע" מ
כתובת:
מגדל משה אביב, ק.54 , רחוב ז'בוטינסקי, רמת- גן 52520