התקן ושיטה לנשיאת מצע והתקן לחשיפה - פטנט 181633 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 181633
שם האמצאה:: התקן ושיטה לנשיאת מצע והתקן לחשיפה
שם באנגלית:: SUBSTRATE CARRYING DEVICE, SUBSTRATE CARRYING METHOD, AND EXPOSURE DEVICE

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2006/051896	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
15/11/2004	דין קדימה	2004-330356	יפן (JP)
11/11/2005	בקשה בינלאומית	PCT/JP/2005/020704	יפן (JP)
28/02/2007	בקשת PCT	181633	ישראל (IL)
03/11/2008	פרסום לאומי	181633	ישראל (IL)

סיווגים (IPC)

H01L: חשמל > אלמנטים חשמליים בסיסיים

מגיש

שם:: NIKON CORPORATION

פטנטים דומים