שיטה ומתקן לגלות פגמים בפרוסות כולל כוונון צורות הפרוסות כדי להביא למריחה זהה בכל הצורות - פטנט 173864 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 173864
שם האמצאה:: שיטה ומתקן לגלות פגמים בפרוסות כולל כוונון צורות הפרוסות כדי להביא למריחה זהה בכל הצורות
שם באנגלית:: METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING DEFECTS IN WAFERS INCLUDING ALIGNMENT OF THE WAFER IMAGES SO AS TO INDUCE THE SAME SMEAR IN ALL IMAGES

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
28/02/2005	דין קדימה	11/068711	ארה"ב (US)
21/02/2006	בקשה לאומית	173864	ישראל (IL)
05/07/2006	פרסום לאומי	173864	ישראל (IL)

מגיש

שם:: NEGEVTECH LTD.

פטנטים דומים