התקן לפיצוי בלאי של טבעת קצה בתא לעיבוד פלאזמה - פטנט 167491 - קונץ פטנט

כללי

מספר פטנט:: 167491
שם האמצאה:: התקן לפיצוי בלאי של טבעת קצה בתא לעיבוד פלאזמה
שם באנגלית:: APPARATUS FOR THE COMPENSATION OF EDGE RING WEAR IN A PLASMA PROCESSING CHAMBER

בקשות ופרסומים

תאריך	סוג	מספר	מדינה
	פרסום בינלאומי	2004/027816	הארגון העולמי לקניין רוחני (WO)
18/09/2002	דין קדימה	10/247812	ארה"ב (US)
16/09/2003	בקשה בינלאומית	PCT/US/2003/029309	ארה"ב (US)
16/03/2005	בקשת PCT	167491	ישראל (IL)
03/08/2009	פרסום לאומי	167491	ישראל (IL)

מגיש

שם:: LAM RESEARCH CORPORATION
כתובת:: 4650 CUSHING PARKWAY FREMONT, CA 94538-6470 , US
מדינה:: ארה"ב

מגיש/ממציא

שם:: ROBERT J. STEGER

מסירת הודעות

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

סוכן

שם:: ג'יי אמ בי דייויס בן-דוד
כתובת:: מרכז בק למדע, הרטום 8, הר חוצבים, ירושלים 9777401
מדינה:: ישראל
טלפון:: 02-5714777
פקס:: 02-5714455
דוא"ל:: ipo@jmb.co.il

מסמכים

פטנטים דומים